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其他領域

從科技和經濟發展的角度看,半導體設備是產業發展的基礎,而半導體行業的快速發展,離不開高水平掃描電鏡的支持。NavigatorSEM-100具備特定的

半導體型直接探測技術,結合專業的智能分析軟件,可提供該應用領域專業的系統解決方案。

 

專門用于芯片反向工程cm級大面積納米成像的高速掃描電鏡成像系統100M圖像掃描模塊具備5倍TV的高速錄像功能,

實現器件的實時觀測,同時適用于MEMS機械結構驗證。

相關機型

高通量(場發射)掃描電子顯微鏡

NavigatorSEM-100

聚束科技獨立研發并擁有自主知識產權的NavigatorSEM-100高通量(場發射)掃描電子顯微鏡,通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統化創新設計,實現了高通量成像,成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案,成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性,顛覆性地將掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單,全自動一鍵換樣,7*24小時無人值守運行,全面提升科研效率。 我們將成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表面分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。

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